电力检测
电力行业为了既缩小设备体积又保证安全，采用六氟化硫SF6惰性气体作为绝缘介质和灭弧气体，SF6气体的灭弧能力是空气的100倍以上，对金属及绝缘材料无腐蚀作用，在电力设备普遍使用。特别在高压断路器、变压器、互感器、电容器、避雷器、熔断器等设备中有广泛应用。
人工光合作用效果测试
半导体工业中的安全隐患主要是有毒气体和腐蚀性气体。其中，毒性较强的气体包括锗烷（GeH4）、磷烷（PH3）、砷烷（AsH3）、氢化锑（SbH3)、三氟化磷（PH3）等，毒性较弱但具有刺激性的气体包括氨气(NH3)、硅烷（SiH4）、三氟化硼（BF3）、四氟化硫（SF4）等，具有强腐蚀性的气体包括SiF4、HF等。
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